دستگاه لایه‌نشانی تبخیر حرارتی
آزمایشگاه مربوطه :مرکز خدمات تخصصی میکروالکترونیک
سازمان مربوطه :جهاد دانشگاهی جهاد دانشگاهی واحد دانشگاه صنعتی شریف
خاصیت قابل اندازه گیری :فیزیکی
شماره تماس آزمایشگاه :66075156 - 66028194
عنوان دستگاه :Thermal Evaporator
زمینه های کاربردی :مهندسي , علوم پايه
محدودیت های دستگاه :امكان لايه نشاني بر روي نمونه هايي با قطر كمتر از 25 سانتيمتر وجود دارد.
توضیحات:
مورد قابل اندازه گیری با دستگاه
| مورد اندازه گیری شده | واحد اندازه گیری | دقت اندازه گیری |
|---|---|---|
| ضخامت لايه نازك | nm | يك نانومتر |
خدمات قابل ارایه با این دستگاه
| شرح خدمات | نحوه ارایه خدمات | هزینه خدمات (ریال) |
|---|---|---|
| هر بار لايه نشاني فلزات(به غير از طلا) و دي الكتريك ها تا 200 نانومتر | توسط آزمايشگاه | 2.000.000 |
| هر بار لايه نشاني طلا از 5 نانومتر تا 100 نانومتر | توسط آزمايشگاه | 2.500.000 |
| براي هر 100 نانومتر لايه طلاي ضخيم تر | توسط آزمايشگاه | 500.000 |
| هر بار لايه نشاني فلزات(به غير از طلا) و دي الكتريك ها تا 200 نانومتر | توسط آزمايشگاه | 2.000.000 |
| هر بار لايه نشاني طلا از 5 نانومتر تا 100 نانومتر | توسط آزمايشگاه | 2.500.000 |
| براي هر 100 نانومتر لايه طلاي ضخيم تر | توسط آزمايشگاه | 500.000 |
زمان سرویس دهی با این دستگاه
| روز | ساعت شروع | ساعت پایان | توضیحات |
|---|---|---|---|
| شنبه | 7:45 | 16:00 | |
| یکشنبه | 7:45 | 16:00 | |
| دوشنبه | 7:45 | 16:00 | |
| سه شنبه | 7:45 | 16:00 | |
| چهارشنبه | 7:45 | 16:00 | |
| پنجشنبه | 7:45 | 16:00 | با هماهنگي از قبل |
تجهیزات جانبی این دستگاه : ضخامت سنج كريستالي, گرمكن , نمونه گردان
متخصصین دستگاه
| نام و نام حانوادگی | مرتبه علمی | شماره تماس |
|---|---|---|
| مجید عین آبادی | كارشناس | 66075156 - 66028194 |