دستگاه کندوپاش مغناطیسی به روش جریان مستقیم
تاریخ بروز رسانی : 1393/02/17
آزمایشگاه مربوطه :مرکز خدمات تخصصی میکروالکترونیک
سازمان مربوطه :جهاد دانشگاهی جهاد دانشگاهی واحد دانشگاه صنعتی شریف
خاصیت قابل اندازه گیری :فیزیکی
شماره تماس آزمایشگاه :66075156 - 66028194
عنوان دستگاه :DC Magnetron Sputter Coater
زمینه های کاربردی :مهندسي , علوم پايه
محدودیت های دستگاه :امکان لایه نشانی بر روی نمونه هایی با قطر کمتر از 15 سانتیمتر وجود دارد
توضیحات:
مورد قابل اندازه گیری با دستگاه
| مورد اندازه گیری شده | واحد اندازه گیری | دقت اندازه گیری |
|---|---|---|
| ضخامت لايه نازك | nm | 1nm |
خدمات قابل ارایه با این دستگاه
| شرح خدمات | نحوه ارایه خدمات | هزینه خدمات (ریال) |
|---|---|---|
| هر بار لایه نشانی | توسط آزمايشگاه | 3.000.000 |
| براي هر 100 نانومتر لايه ضخيم تر | توسط آزمايشگاه | 2.000.00 |
زمان سرویس دهی با این دستگاه
| روز | ساعت شروع | ساعت پایان | توضیحات |
|---|---|---|---|
| شنبه | 7:45 | 16:00 | |
| یکشنبه | 7:45 | 16:00 | |
| دوشنبه | 7:45 | 16:00 | |
| سه شنبه | 7:45 | 16:00 | |
| چهارشنبه | 7:45 | 16:00 | |
| پنجشنبه | 7:45 | با هماهنگي |
تجهیزات جانبی این دستگاه : ضخامت سنج كريستالي, گرمكن 100 تا 300 درجه سانتيگراد
آخرین وضعیت دستگاه : آماده سرويس دهي